99在线精品免费视频-九九视频在线观看视频6-在线观看成人网站-日韩欧美一中文字暮专区-东北老女人高潮大喊舒服死了-荫蒂被男人添的好舒服A片-LED字幕乱码-狠狠撸在线视频-青草视频在线观看视频-福利视频在线播放-香蕉樱桃水蜜桃猕猴桃菠萝视频-亚洲精品久久久久中文字幕M男-国精产品一品二品国精品69XX,999精品亚洲国产欧美,久久精品视频在线直播,国产精品久久久久久久黄湿,自拍偷在线精品自拍偷,无码专区人妻系列日韩精品,欧美三人交性片,精品人妻无码一区二区蜜桃,国产ⅰ麻豆精品成一区,肉欲无码,日本性大片在线观看,国产又色又爽又黄A片小说,制服丝袜长腿无码专区第一,亚洲久久久噜噜噜熟女软件,太久没做紧的都放不进去了,青青青草国产熟女大香蕉,麻豆久久无码精品久久,精品人妻少妇嫩草无码专区,国产玩弄人妻出轨系列,国产爆乳无码在线播放,亚洲AV无码成人精品媚药,另类灌满,夜爽8888视频在线观看,亚洲欧美精品无码一区二在线,韩国理论电影年轻的母亲,国产精品久久久久久久久毛片,国产精品久久久久国产,久久精品国产亚洲欧美日韩,欧美疯狂做爰XXXX高潮,性做爰A片免费视频,av 天堂 亚洲

勻膠機是在速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。

主要用于晶片涂光刻膠，有自動、手動和半自動三種作方式。

送片盒中的晶片，自動送到承片臺上，用真空吸附，在主軸電機的帶動下旋轉，轉速100-9900轉/分(±10轉/分)，起動加速度可調。每道程序的持續時間，轉速、加速度、烘烤溫度、烘烤時間、預烘時間等藝參數均可通過編程控制。

勻膠機有個或多個滴膠系統，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現了多點滴膠或膠口移動式滴膠。膠膜厚度般在500-1000nm，同晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計行恒量控制。對涂過膠的晶片有上下刮邊能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。

烘烤位，有隧道式遠紅外加熱，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過程在密封的爐子中行，通過抽真空排除揮發出來的有害物質。前烘結束后，將晶片送入收片盒內。

主軸轉速的穩定性和重復性是決定膠膜厚度均勻性和致性的關鍵，起動加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。

從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節

旋轉速度

轉速的快慢和控制直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求涂覆的人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。

真空吸附系統

真空泵要無油的，因為油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況，還會讓滴膠液真空管道系統堵塞。