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勻膠機是在旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。

選購巧

從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)

旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標定實時的轉(zhuǎn)速。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)

真空泵定要無油的，壓力標定準確，油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況。

材質(zhì)的選擇

對于半導體化行業(yè)的應用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。

旋轉(zhuǎn)涂覆術(shù)

旋轉(zhuǎn)涂覆術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機。又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是樣的，即在速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。

(1)旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。

(2)真空吸附系統(tǒng)

真空泵般采用無油泵，即通常說的干泵，因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)。