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旋轉涂層機/勻膠機/旋轉涂儀 型號:ZRX-26230

旋轉涂層機勻膠機
      主要用于液體，膠體在材料表面形成薄膜。
      適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不銹鋼，金屬等制版表面涂覆藝。

      ZRX-26230勻膠機 作主機立，控制器分置。
      ZRX-26230勻膠機： 作腔內徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
     

 *旋轉涂層機勻膠機程序控制器：
    可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷藝過程；
    每個涂敷藝過程可以設置51步不同的速度狀態；
    加速度（及負加速度），可設置。
    中英文兩套操作系統供選擇。
    操作系統內駐留涂敷藝過程模板程序，方便快速調試并存儲程序。
    設置程序：標準通用符號，6鍵操作，人機交互式對話，提示操作。
    無需培訓，上手就會操作。
*可連接滴膠機，自動控制在要的瞬間滴膠，自動控制重復定量滴膠。
    自動控制操作。
*作腔可氮氣保護。
    設過有效的惰性氣體保護機構，對所有的環境變量（溫度，濕度，潔凈度）有效控制，

*真空吸片，爪卡機構。2種作狀態隨意選擇。 爪卡機構作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結構定位：圓形基片使用具成中心定位。方便快捷，定位度。
    主機標準配備片真空吸盤即可滿足（TA-280適用3英寸-11英寸基片）；（TA-360適用3英寸-14英寸基片）。
    小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤，吸盤品種豐富，適應各種需要。
*真空吸片系統更安：
    安裝有真空度傳感器，涂敷作過程電腦實時檢測系統真空度，須在安的真空度下，
    電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。運行中失去真空，系統保護性停機。
*伺服電機，轉速度更：300 - 10000 轉/分，轉速穩定性：+ - 0.1 % 轉速10000轉/分
*所用的天然聚丙烯（NPP）材質，清潔。
 
      

        單相交流電源：220V.50Hz
        電機率：200W
        轉數：300 - 10000 轉/分。
        可設定時間：1---9999秒。尺寸： 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm ,